集微网音讯，近来，常州煜辉半导体设备有限公司（简称：煜辉半导体）已顺利完结近亿元A轮融资。本轮融资由深创投及红土一号私募股权合作基金一起出资完结。

  常州煜辉半导体设备有限公司是一家半导体企业，其子公司江苏维普光电是一家半导体光掩模检测设备企业。

  常州国家高新区音讯显现，该公司产品有IC掩模检测、FPD掩模检测、晶圆检测、晶圆及掩模量测三大范畴五类产品。其间，半导体掩模检测STORM 系列设备，已全面应用于国内Maskshop客户，对标业界头部企业，检测精度、功率上逾越对应类型机型，共累计出货近40套。

  维普光电成立于2016年9月，其解决办法可满意严苛的半导体晶圆制作、半导体掩模版的AOI检测，应品应用于泛半导体、CMOS图画传感器、MEMS和RF范畴。维普光电产品主要有半导体掩模版检测系列，包含Storm2000、Storm3000、IRIS530，以及晶圆检测系列，包含Tronado2000、Tronado3000。

  常州国家高新区音讯显现，量产机型STORM 3000满意130nm制程，交给华润微、中微掩模、龙图光罩、路维光电等客户。煜辉半导体本轮融资将用于下一代掩模检测机台STORM 5000、前道晶圆检测Tornado 3000的研制及出产制作，下一代机型将应用于半导体制作更高制程。（校正/韩秀荣）